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真空镀膜设备 选购要点分析以及安全操作规程

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真空镀膜设备 选购要点分析以及安全操作规程

发布日期:2018-12-14 作者:金华真空镀膜厂家 点击:

真空镀膜设备 选购要点分析以及安全操作规程

真空镀膜设备主要由真空腔、抽气系统、蒸发系统、成膜控制系统等组件构成。镀膜设备已经被广泛应用于光学、电子、玩具、建材、五金、钟表、汽车、民用装饰品等行业。制镀薄膜尤其广泛,其制作的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中,如数码相机、数码摄像机、望远镜、投影机、能量控制、光通讯、显示技术、干涉仪、人造卫星飞弹、半导体激光、微机电系统、信息工业、激光的制作、各种滤光片、照明工业、传感器、建筑玻璃、汽车工业、装饰品、钱币、眼镜片等等,镀膜机器已经与人类的生活紧密联系。


真空镀膜设备选购要点分析如下:

▲炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

▲根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、多弧离子镀等。

▲夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式,用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。

▲真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。

▲根据工艺要求选择镀制方式及形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控源(同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材质及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直径靶材,气动、电动的引弧等),真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管,及其它测量仪器,如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪,透过率计等。

▲充气方式可选用质量流量计、浮子流量计 + 针阀及相应的充气阀门,并可选择多路充气管路及相应流量参数。

▲根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。

▲根据设备使用特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。

▲完善的报警系统,对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。


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真空镀膜安全操作规程

1.在机床运转正常情况下,开动机床时,必须先开水管,工作中应随时注意水压。 

2.在离子轰击和蒸发时,应特别注意高压电线接头,不得触动,以防触电。 

3.在用电子枪镀膜时,应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃用铅玻璃,观察时应戴上铅玻璃眼镜,以防X射线侵害人体。 

4.镀制多层介质膜的镀膜间,应安装通风吸尘装置,及时排除有害粉尘。 

5.易燃有毒物品要妥善保管,以防失火中毒。 

6.酸洗夹具应在通风装置内进行,并要戴橡皮手套。 

7.把零件放入酸洗或碱洗槽中时,应轻拿轻放,不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。 

8.工作完毕应断电、断水。

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